विवरण
KLA और KLA-Tencor वेफर निरीक्षण प्रणालियों के आकार की सटीकता को सत्यापित करने के लिए NIST, मानक संदर्भ सामग्री, पॉलीस्टाइन माइक्रोस्फीयर और बीड्स का उपयोग कैलिब्रेशन और संदूषण वेफर मानकों में किया जाता है।
NIST SRM, कण आकार मानक, PSL क्षेत्र, आकार अंशांकन
NIST SRM कण आकार मानक किसी भी अनुप्रयोग के साथ उपयोग के लिए दुनिया भर में ज्ञात अंशांकन मानक हैं जिनके लिए अत्यंत सटीक आकार, संकीर्ण आकार की चोटियों और संकीर्ण मानक विचलन के साथ NIST SRM (आकार संदर्भ सामग्री) आकार मानक की आवश्यकता होती है। वे प्रकाश बिखरने वाले उपकरणों, इलेक्ट्रॉन सूक्ष्मदर्शी, और अंतर गतिशीलता विश्लेषक सहित विभिन्न प्रकार के कणों के आकार के अंशांकन और सत्यापन के लिए उपयोग किया जा सकता है। वे सतह स्कैनिंग निरीक्षण प्रणालियों को कैलिब्रेट करने के लिए विशेष रूप से महत्वपूर्ण हैं, जिनका उपयोग सिलिकॉन वेफर्स पर दोषों का पता लगाने और चिह्नित करने के लिए किया जाता है। उच्च थ्रूपुट, लागत प्रभावी वेफर उत्पादन के लिए स्कैनिंग सिस्टम को विकसित करने और आगे बढ़ाने के लिए सटीक संदर्भ कणों की आवश्यकता होती है, जो कि उपकरण लघुकरण के लिए महत्वपूर्ण है। संदर्भ कणों का उपयोग एयरोसोल उपकरणों के परीक्षण के लिए मोनो-फैल (एकल आकार शिखर) कणों की आपूर्ति के लिए भी किया जा सकता है और एयरोसोल कैनेटीक्स की जांच करने और कण डिटेक्टर प्रतिक्रिया का मूल्यांकन करने के लिए उपयोगी होते हैं।
मोडल व्यास के लिए प्रमाणित मूल्य:
60 एनएम SRM 1964 polystyrene microspheres 60.39 एनएम है, ± 0.63 एनएम की एक विस्तारित अनिश्चितता के साथ;
100 एनएम SRM 1963A polystyrene microspheres 101.8 एनएम है, ± 1.1 एनएम की एक विस्तारित अनिश्चितता के साथ;
269 एनएम SRM 1691 polystyrene microspheres 269 एनएम है, ± 4 एनएम की एक विस्तारित अनिश्चितता के साथ;
895 एनएम SRM 1690 polystyrene microspheres 895 एनएम है, ± 5 एनएम की विस्तारित अनिश्चितता के साथ।
अंतर गतिशीलता विश्लेषण का उपयोग करके माप किए गए थे और हवा में एक्स-एनयूएमएक्स एनएम, जो लंबाई के लिए मौलिक मानक के संबंध में निर्धारित किया गया है, में हे-ने लेजर तरंगदैर्ध्य के लिए पहचाने जाने योग्य हैं।
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गोलाकार व्यास NIST द्वारा गणना रैखिक आयामों के साथ कैलिब्रेट किए जाते हैं। आकार के कणों के प्रति संवेदनशील लेजर स्कैनर की प्रतिक्रिया को कम करने के लिए अनियमित आकार के कणों के बजाय क्षेत्रों का उपयोग किया जाता है। मानकों को 5 मिलीलीटर (एमएल) ड्रॉपर-इत्तला की गई बोतलों में जलीय निलंबन के रूप में पैक किया जाता है। कण सांद्रता फैलाव और कोलाइडयन स्थिरता में आसानी के लिए अनुकूलित है। क्षेत्रों में 1.05 g / cm3 का घनत्व और 1.59 @ 589 एनएम के अपवर्तन का एक सूचकांक है, जिसे 25 डिग्री सेंटीग्रेड पर मापा जाता है।
प्रत्येक पैकेज में NIST को अंशांकन और ट्रैसेबिलिटी का एक प्रमाण पत्र होता है जिसमें अंशांकन विधि और इसकी अनिश्चितता और रासायनिक और भौतिक गुणों की एक तालिका शामिल है। एक सामग्री सुरक्षा डेटा शीट, हैंडलिंग और निपटान निर्देशों के साथ भी उपलब्ध है। बिक्री के बाद पीएसएल की बोतलें सुविधाजनक तकनीकी सेवा और समर्थन के लिए बहुत संख्या में हैं।
| NIST एसआरएम क्षेत्रों | 60.4nm, 101.8nm, 269nm और 895nm |
| कण रचना | पॉलीस्टाइनिन लेटेक्स, पीएसएल क्षेत्रों |
| कणों का घनत्व | 0.625 जी / सेमी टी |
| अपवर्तन की सूचि | 1.59 @ 589nm (25 ° C) |
| बोतल आकार | 5 एमएल |
| निश्वासन तिथि | । 24 महीने |
| additives | सर्फेक्टेंट की मात्रा का पता लगाता है |
| सुझाए गए संग्रहण अस्थायी। | 2-8 डिग्री सेल्सियस |
| बोतल का आकार और आयतन | 5ml की बोतल |
| PSL क्षेत्रों, NIST SRM, 60.4nm, 101.8nm, 269nm, 895nm | ||||
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उत्पाद भाग # |
औसत व्यास |
प्रमाणित मीन पीक |
कक्षा। देव और सी.वी. |
ठोस तत्व |
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AP1690 |
895 एनएम |
895nm N 5 एनएम |
0.7 एनएम |
0.50% तक |
|
AP1691 |
269 एनएम |
269nm N 4 एनएम |
5.3 एनएम |
0.50% तक |
|
AP1963A |
101.8 एनएम |
101.8nm N 1.1 एनएम |
0.55 एनएम |
0.50% तक |
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AP1964 |
60.4 एनएम |
60.39nm N 0.63 एनएम |
0.31 एनएम |
0.50% तक |
