एक अंशांकन वेफर मानक का उपयोग एसएसआईएस टूल के दो विनिर्देशों को सत्यापित और नियंत्रित करने के लिए किया जाता है: प्रत्येक स्कैन के दौरान वेफर भर में विशिष्ट कण आकार और स्कैन की एकरूपता पर आकार सटीकता।