Applied Physics अमेरिका
पॉलीस्टाइनिन लेटेक्स मोती, कण आकार मानक
Applied Physics यूएसए: पीएसएल क्षेत्रों, पॉलीस्टीरिन माइक्रो-क्षेत्रों, कण आकार मानक
Applied Physics यूएसए एयरोसोल इंस्ट्रूमेंट कैलिब्रेशन के लिए कण आकार मानकों के रूप में पीएसएल क्षेत्रों और पॉलीस्टायरीन बीड्स प्रदान करता है। वेफ़र निरीक्षण उपकरण, जैसे KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE और Hitachi को भी आकार के अंशांकन की आवश्यकता होती है, जो पॉलीस्टायरीन लेटेक्स क्षेत्रों के उपयोग के माध्यम से पूरा किया जाता है। संबंधित वेफर निरीक्षण प्रणालियों और लेजर कण काउंटरों के आकार प्रतिक्रिया घटता को कैलिब्रेट करने के लिए पीएसएल क्षेत्रों, पॉलीस्टाइरीन माइक्रोस्फीयर और मोतियों को 20 एनएम से 10 माइक्रोन के आकार में प्रदान किया जाता है। 20 एनएम से लगभग 5 माइक्रोन के पीएसएल क्षेत्रों का उपयोग आमतौर पर लेजर कण काउंटरों के आकार की प्रतिक्रिया को जांचने के लिए किया जाता है। पॉलीस्टाइरीन माइक्रोस्फीयर का उपयोग अंशांकन वेफर मानकों और कण वेफर मानकों का उत्पादन करने के लिए किया जा सकता है, जिनका उपयोग KLA-Tencor Surfscan टूल और पुराने Tencor Surfscan टूल के आकार की प्रतिक्रिया को कैलिब्रेट करने के लिए किया जाता है।
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कॉल करके पॉलीस्टाइनिन लेटेक्स मोतियों का ऑर्डर दिया जा सकता है Applied Physics (719) 428-4042 पर
वेफर इंस्पेक्शन सिस्टम्स, जिसे स्कैनिंग सरफेस इंस्पेक्शन सिस्टम्स, SSIS के रूप में संदर्भित किया जाता है, विशेष रूप से KLA-Tencor और Hitachi से, PSL वेफर मानकों का उपयोग करके कैलिब्रेट किया जाता है, जो विशिष्ट आकार और संकीर्ण आकार के वितरण पर PSL क्षेत्रों के साथ जमा किए गए प्राइम सिलिकॉन वेफर्स हैं। वेफर निरीक्षण उपकरण का उपयोग 300 मिमी, 200 मिमी, 150 मिमी वेफर सतहों की सफाई का निरीक्षण करने के लिए किया जाता है; नंगे सिलिकॉन या फिल्म जमा, वेफर सतह। एसएसआईएस पीएसएल क्षेत्रों और कणों के एक्स/वाई स्थान की पहचान कर सकता है, प्रत्येक दोष के आकार का वर्णन कर सकता है और साथ ही वेफर सतह पर एक समग्र कण गणना को सारांशित कर सकता है। KLA-Tencor वेफर निरीक्षण प्रणाली, जैसे कि Tencor 6200, 6420 और KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 और KLA-Tencor SP3, इस एप्लिकेशन के लिए पूरे सेमीकंडक्टर उद्योग में उपयोग की जाती हैं। टॉपकॉन के पास 3000, 5000 और 7000 सीरीज वेफर इंस्पेक्शन सिस्टम हैं। एस्टेक, एडीई, एरोनका और हिताची भी विभिन्न प्रकार की वेफर निरीक्षण प्रणाली प्रदान करते हैं। आज उत्पादित लगभग हर एसएसआईएस अब 30 एनएम कण आकार संवेदनशीलता या बेहतर का पता लगाने में सक्षम है। पीएसएल क्षेत्रों का उपयोग वेफर सतह पर कण आकार मानकों का प्रतिनिधित्व करने के लिए किया जाता है। Applied Physics आकार अंशांकन, HEPA फ़िल्टर परीक्षण आदि के लिए 20 nm से 160 माइक्रोन तक PSL क्षेत्र आकार प्रदान करता है। PSL क्षेत्रों को कॉल करके आदेश दिया जा सकता है Applied Physics (719) 428-4042 पर
PSL वेफर मानकों का उत्पादन करने के लिए PSL वेफर डिपोजिट सिस्टम के साथ PSL क्षेत्रों का उपयोग किया जाता है, जिसे पार्टिकल वेफर मानकों के रूप में भी जाना जाता है। या तो मामले में, पीएसएल वेफर मानक का उत्पादन होने के बाद, फिर इसे एक वेफर निरीक्षण प्रणाली पर रखा जाता है और एक एकल लेजर एसएसआईएस या दोहरी लेजर एसएसआईएस द्वारा स्कैन किया जाता है। वास्तविक PSL आकार प्रतिक्रिया की तुलना SSIS आकार प्रतिक्रिया से की जाती है। यदि दो चोटियाँ मेल नहीं खाती हैं, तो SSIS को कैलिब्रेट किया जाना चाहिए। मिश्रित, उच्च सांद्रता PSL Spheres 2300XP1 सिस्टम, 2300 NPT-1 सिस्टम, 2300NPT-2 और M2300GP वेफर डिपोजिशन सिस्टम के लिए हैं।
पीएसएल क्षेत्रों, 1% एकाग्रता।
पूर्व मिश्रित PSL Spheres एक 50ml की बोतल में आते हैं, आकार में XoUMX (वितरण में 1 आकार), और 47nm से 950nm के आकार में दिए जाते हैं। इस PSL समाधान को सीधे नेबुलाइज़र या एटमाइज़र पोत में डाला जाता है। प्री-मिक्स पॉलीस्टाइन लेटेक्स मोतियों को खरीदने का एक सुविधाजनक तरीका है, क्योंकि सभी कमजोर पड़ने को बहुत ही समान तरीके से पूरा किया गया है, कोई मसला नहीं, कोई उपद्रव नहीं है, जिससे उपयोगकर्ता को बीकर, डीआई पानी का उपयोग करके पॉलीस्टीरिन लेटेक्स मोतियों के मिश्रण से निपटने की अनुमति नहीं है। और अल्ट्रासोनिक ट्रे। संयुक्त-मिश्रित PSL सामग्री एक 15ml बोतल, आकार में मोनो-फैलाव (1 आकार वितरण) और आमतौर पर 1% एकाग्रता में प्रदान की जाती है। इन PSL क्षेत्रों को आकारों की एक विस्तृत श्रृंखला में प्रदान किया जाता है, लेकिन हमारे उद्देश्यों के लिए, 20nm से आकार में 4um तक। पीएसएल सामग्री को उचित कमजोर पड़ने के लिए मिश्रित किया जाना चाहिए या उपरोक्त पीएसएल वेफर डिपोजिशन सिस्टमों में से एक द्वारा जमा करने की कोशिश करने पर प्रभावी परिणाम प्रदान करने के लिए यह केंद्रित या बहुत कमजोर होगा। क्लीनरूम फोगर्स लिंक