पीएसएल क्षेत्रों, पॉलीस्टाइनिन लेटेक्स, सर्फ-कैल पार्टिकल आकार मानक

SURF-CAL PSL गोले एक 50ml बोतल में पूर्व मिश्रित PSL गोले प्रदान करके आपकी सुविधा में अंशांकन वेफर्स तैयार करने के काम को सरल बनाते हैं। कण आकार उपकरण निर्माताओं द्वारा आवश्यक अंशांकन बिंदु आकार के अनुरूप होते हैं। कण सांद्रता 1 x 10 e10 कण प्रति एमएल हैं। SEMI मैन्युफैक्चरर्स ने विशिष्ट कण आकार की मांग की है जब स्कैनिंग सर्फेस इंस्पेक्शन सिस्टम को कैलिब्रेट किया जाता है, जिसे निरीक्षण उपकरण भी कहा जाता है। साधन निर्माताओं के साथ काम करना SURF-CAL PSL क्षेत्रों SEMI मानक M52 (3) और M53 दिशानिर्देशों को पूरा करता है। उपलब्ध आकार महत्वपूर्ण साइज़िंग नोड्स हैं जो कि सेमीकंडक्टर्स, ITRS (1) के लिए इंटरनेशनल टेक्नोलॉजी रोडमैप द्वारा परिभाषित किए गए हैं।

SURF-CAL, NIST ट्रेस करने योग्य PSL (पॉलीस्टाइन लेटेक्स) को नंगे सिलिकॉन और पैटर्न वेफर्स पर जमा करके, आप अपने KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS टूल पर आवधिक आकार के अंशांकन जांच कर सकते हैं और स्कैनर के साथ अपने वफ़र निरीक्षण स्कैनर की तुलना कर सकते हैं। अन्य स्थान। आप निर्माण प्रक्रिया में महत्वपूर्ण चरणों में अपने SSIS के प्रदर्शन का आकलन कर सकते हैं।

सभी उत्पादों को 50 X3particles प्रति mL की एकाग्रता में 1010 mL बोतलों में विआयनीकृत, फ़िल्टर्ड पानी (DI पानी) में निलंबित कर दिया जाता है। इन PSL क्षेत्रों को विभिन्न मोबिलिटी एनालाइज़र (डीएमए) या अन्य आकार बहिष्करण तकनीकों द्वारा आकार दिया गया है।

मापन पद्धति:

NIST ट्रेसबिलिटी को आश्वस्त करने के लिए, NIST मानक संदर्भ सामग्री (2) से ट्रांसमिशन इलेक्ट्रॉन या ऑप्टिकल माइक्रोस्कोपी द्वारा इन उत्पादों के प्रमाणित व्यास स्थानांतरित किए गए थे। अनिश्चतता की गणना NIST तकनीकी नोट 1297, 1994 संस्करण "NIST मापन परिणामों की अनिश्चितता को व्यक्त करने और व्यक्त करने के लिए दिशानिर्देश" (4) का उपयोग करके की गई थी। सूचीबद्ध अनिश्चितता दो (K = 2) के कवरेज कारक के साथ विस्तारित अनिश्चितता है। चोटी के व्यास की गणना कण आकार वितरण के लगभग using 2s रेंज का उपयोग करके की गई थी। आकार वितरण की गणना पूरे शिखर के मानक विचलन (एसडीएस) के रूप में की गई थी। भिन्नता का गुणांक (सीवी) एक मानक विचलन है जो चोटी के व्यास के प्रतिशत के रूप में व्यक्त किया जाता है। एफडब्ल्यूएचएम (आधी अधिकतम पर पूर्ण चौड़ाई) वितरण की गणना चोटी की ऊंचाई के आधे हिस्से के रूप में व्यक्त की गई ऊंचाई के आधे हिस्से पर वितरण के रूप में की गई थी।

1. "अर्धचालक के लिए राष्ट्रीय प्रौद्योगिकी रोडमैप", सेमीकंडक्टर उद्योग संघ (1999)

2. एसडी ड्यूक और ईबी लेन्डेकेर, "इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी द्वारा उप-माइक्रोन गोलाकार कणों के आकार अंशांकन के लिए आंतरिक मानक विधि", फाइन पार्टिकल सोसाइटी (1988)

3। SEMI M52 - सिलिकॉन वेफर्स के लिए भूतल निरीक्षण प्रणालियों को निर्दिष्ट करने के लिए मार्गदर्शिका 130 एनएम टेक्नोलॉजी जनरेशन।

4. बैरी एन। टेलर और क्रिस ई। कुयात, "मूल्यांकन और NIST मापन मापन की अनिश्चितता को व्यक्त करने के लिए दिशानिर्देश"। NIST तकनीकी नोट 1297, 1994 संस्करण, सितंबर 1994।

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