सर्फ-कैल, कण आकार मानक, 50 मिलीलीटर मात्रा, 1x10E8 और 1x10E10 एकाग्रता / एमएल के लिए पूर्व-मिश्रित

SURF-CAL™ कण आकार मानक आकार अंशांकन और स्कैनिंग सतह निरीक्षण प्रणाली (SSIS) की निगरानी में उपयोग किए जाते हैं। नीचे कण आकार उपकरण निर्माताओं द्वारा आवश्यक अंशांकन कण आकार के अनुरूप हैं। आपको यह सुनिश्चित करने के लिए आवधिक अंशांकन जांच और साप्ताहिक आकार और गणना निगरानी पूरी करनी चाहिए कि आपका वेफर निरीक्षण स्कैनर अन्य स्थानों पर स्कैनर के साथ तुलना करता है। सभी पॉलीस्टीरिन माइक्रोस्फीयर को 50 × 3 E10 या 8 × 1 E10 कण प्रति एमएल की सांद्रता पर 10mL बोतल की मात्रा में विआयनीकृत, फ़िल्टर किए गए पानी में निलंबित कर दिया जाता है। * के साथ नोट किए गए आकार उस व्यास पर NIST SRM कणों के समान हैं। नीचे दिए गए सभी पॉलीस्टीरिन माइक्रोस्फीयर के लिए अपवर्तक सूचकांक 1.59 @ 589nm (25C) है। प्रत्येक बोतल 12 महीनों के लिए स्थिर है और एनआईएसटी को अंशांकन और ट्रेसबिलिटी के प्रमाण पत्र के साथ पैक किया गया है।

SURF-CAL, NIST ट्रेस करने योग्य PSL (पॉलीस्टाइरीन लेटेक्स) स्फेयर को नंगे सिलिकॉन और पैटर्न वेफर्स पर जमा करके, आप अपने KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS टूल्स पर समय-समय पर आकार अंशांकन जांच कर सकते हैं और स्कैनर के साथ अपने वेफर निरीक्षण स्कैनर की तुलना कर सकते हैं। अन्य स्थान। आप निर्माण प्रक्रिया में महत्वपूर्ण चरणों में अपने एसएसआईएस के प्रदर्शन का आकलन भी कर सकते हैं। सभी उत्पादों को 50 x3 e10 कणों/mL या 10 x1 e10 कणों/mL की सांद्रता पर 10 एमएल की बोतलों में विआयनीकृत, फ़िल्टर किए गए पानी (DI पानी) में निलंबित कर दिया जाता है। ये सर्फ-कैल कण आकार मानक पॉलीस्टाइरीन माइक्रोस्फीयर हैं जिन्हें डिफरेंशियल मोबिलिटी एनालाइज़र (डीएमए) या अन्य आकार बहिष्करण तकनीकों द्वारा आकार दिया गया है।